關(guān)于熱式氣體質(zhì)量流量計綜合方面簡(jiǎn)單介紹

以硅片為基礎，采用微機械加工技術(shù)與薄膜技術(shù)制成的熱式氣體質(zhì)量流量計傳感器的結構、工作原理及其主要技術(shù)特點(diǎn)，以該傳感器為核心部件組成的質(zhì)量流量計與控制器的特點(diǎn)與應用示例。

通常流量測量有體積與質(zhì)量計量?jì)煞N方式。體積流量計量往往受溫度、壓力等工況的變化而影響計量度。因此，要求計量的場(chǎng)合必須采用質(zhì)量流量計量。質(zhì)量流量計可分為推導式質(zhì)量流量計與直接式質(zhì)量流量計熱式氣體質(zhì)量流量計兩種。前者是在體積計量的基礎上進(jìn)行密度補償或者進(jìn)行溫度、壓力補償，并通過(guò)運算推導出質(zhì)量流量。

后者是基于傳感器測量原理消除溫度、壓力等的影響，從而直接獲得質(zhì)量流量，如科里奧利(Coriolis)質(zhì)量流量計、熱式質(zhì)量流量計等。前者適用于多種液體的質(zhì)量流量計量，后者則適用于各種氣體的微小流量的質(zhì)量計量。

熱式質(zhì)量流量計又稱(chēng)量熱流量計。它是利用測量熱的傳遞、熱的轉移原理來(lái)求得質(zhì)量流量的儀表。該類(lèi)儀表的基本原理幾乎相同，但傳感器的結構與材料各有特色。本文將重點(diǎn)介紹株式會(huì )社山武的CMS與CMQ熱式氣體質(zhì)量流量計與控制器。